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Automatic optical device for roughness measurement based on differential scattering

机译：基于微分散射的粗糙度测量自动光学装置

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Abstract: The automatic measuring device for the control of technology and for polishing surface roughness measurements has been described in this work. This device has very high sensibility and allows to measure rms (root mean squared) roughness $sigma equal some angstroms. There is noncontactive and nondestructive photometric measurement. It is based on the differential scattering measurement. We develop the theoretical framework for the device to definite absolute quantity rms roughness $sigma and correlation length a. It has been demonstrated, that this device together with method allows to measure surface roughness of samples from different materials including transparent ones for laser light. It was foreseen that the scattering from the untest surface of sample would be let out. It allowed to measure the transparent samples without sputtering reflective film. Sensibility of definition of rms roughness is about 1 angstroms, with precision about 30%. The results of this measuring method were compared with ones obtained with other methods and it was received with good agreement. The results of the investigation of the surface samples roughness with different technology has been described. This method of measurement has an industrial application for controlling different surfaces roughness.!2

机译：摘要：在这项工作中已描述了用于控制技术和抛光表面粗糙度的自动测量装置。该设备具有很高的灵敏度，可以测量等于几埃的均方根（均方根）粗糙度$ sigma。有非接触式和非破坏性的光度测量。它基于差分散射测量。我们为该装置开发了一个确定绝对绝对值有效值粗糙度$ sigma和相关长度a的理论框架。已经证明，该装置与方法一起可以测量来自不同材料的样品的表面粗糙度，包括用于激光的透明材料。可以预见到样品未经测试的表面的散射将被排除。无需溅射反射膜即可测量透明样品。均方根粗糙度定义的灵敏度约为1埃，精度约为30％。将该测量方法的结果与其他方法获得的结果进行了比较，并获得了很好的一致性。描述了使用不同技术对表面样品粗糙度进行调查的结果。这种测量方法在控制不同表面粗糙度方面有工业应用。2

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来源
《High-Performance Optical Spectrometry》|1992年|p.191-194|共4页
会议地点 Warsaw(PL)
作者
Valentina V. Azarova; POLYUS Scientific Research Institute; Moscow; Russia; Natalija M. Solovjeva; POLYUS Scientific Research Institute; Moscow; Russia.;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类无线电电子学、电信技术;
关键词

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