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首页> 外文会议>Instrumentation and Measurement Technology Conference (I2MTC), 2012 IEEE International >An air-bearing displacement sensor for nanometrology of surface forms
【24h】

An air-bearing displacement sensor for nanometrology of surface forms

机译：用于表面形式纳米计量学的空气轴承位移传感器

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This paper presents the experimental investigations for performance evaluation of an air-bearing displacement sensor as a measurement system for nanometrology of surface forms by using it. The experimental configuration and some considerations for the air-bearing displacement sensor are described. Then, in order to identify the basic performance of the sensor, a measuring force and displacement output of the sensor are evaluated on a vibration isolated table. The sensor is also mounted on a diamond turning machine to evaluate the surface form of micro structures. A roll workpiece with Ni-P plating surface, on which micro-lens array are fabricated by using a FS-FTS (Force sensor fast tool servo) on the machine tool, is employed as a specimen for measurement.
机译：本文介绍了一种空气轴承位移传感器的性能评估的实验研究，该传感器是通过使用它来测量表面形态的纳米计量学的系统。描述了空气轴承位移传感器的实验配置和一些注意事项。然后，为了识别传感器的基本性能，在隔振台上评估传感器的测量力和位移输出。该传感器还安装在金刚石车床上，以评估微结构的表面形式。使用在机床上使用FS-FTS（力传感器快速工具伺服系统）制造了微透镜阵列的，具有Ni-P镀层表面的辊式工件作为测量样本。

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