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一种用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置

摘要

本公开提供了用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置。该装置包括位移平台,所述位移平台包括动平台和静平台,动平台与压电器件相连;压电器件用于将控制电压转化为驱动力以驱动动平台运动;动平台上安装有第一反射镜,静平台上安装有第二反射镜;动平台运动使得激光干涉仪发射的激光经第一反射镜和第二反射镜的反射后产生变化的干涉条纹;位移平台上设置有单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器中的至少一者,激光干涉仪、单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器均可获得动平台位移变化数据,进而实现单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器中的至少一者与激光干涉仪相互标定。

著录项

  • 公开/公告号CN109870107B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-01-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京同创微纳科技有限公司;

    申请/专利号CN201910245327.8

  • 发明设计人 陈志龙;

    申请日2019-03-28

  • 分类号G01B11/00(20060101);

  • 代理机构37221 济南圣达知识产权代理有限公司;

  • 代理人张庆骞

  • 地址 100096 北京市昌平区回龙观镇龙禧苑二区1号楼6单元301室

  • 入库时间 2022-08-23 11:27:36

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