The University of Tokyo c/o The Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (ISAS/JAXA), 3-1-1 Yosninodai, Sagamihara, Kanagawa 229-8510, JAPAN;
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机译:基于自组装的微电子制造和器件方法:表面钝化,软光刻,电功能系统和分层自组装