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首页> 外文会议>International Conference on Advanced Microsystems for Automotive Applications(AMAA); 20030522-20030523; Berlin; DE >A New Micromachined Gyroscope with Digital Output
【24h】

A New Micromachined Gyroscope with Digital Output

机译：一种新型的具有数字输出的微机械陀螺仪

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In 2001 volume production of the first MEMS-based angular rate sensor for roll-over sensing and navigation control started. In this paper the next generation of a micromachined gyroscope is presented. The new sensor again uses an oscillating disc which is deflected by a coriolis force in case of an angular rate applied. This deflection is measured capacitively by electrodes underneath the disc. The resonance frequency has been increased from 1.5kHz to 5kHz compared with the previous sensor generation. The sensor is packaged in an PLCC44 together with a fully digital signal processing unit. In order to facilitate a broad application the sensor is equipped with an digital output (SPI) as well as with an additional analog output.
机译：2001年，第一款用于翻车传感和导航控制的基于MEMS的角速度传感器开始批量生产。本文介绍了下一代微机械陀螺仪。新传感器再次使用了一个振动盘，该振动盘在施加角速度的情况下会受到科里奥利力的影响而偏转。该偏转是由光盘下方的电极以电容方式测量的。与上一代传感器相比，谐振频率已从1.5kHz增加到5kHz。传感器与全数字信号处理单元一起包装在PLCC44中。为了促进广泛的应用，传感器配备了数字输出（SPI）以及附加的模拟输出。

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