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Applications of In-situ Sample Preparation and Modeling of SEM-STEM Imaging

机译:SEM-STEM成像原位样品制备和建模的应用

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摘要

Scanning transmission electron microscopy with scanningrnelectron microscopes (SEM-STEM) has become increasingrnused in both SEM and dual-beam focused ion beam (FIB)-SEMrnsystems. This paper describes modeling undertaken tornsimulate the contrast seen in such images. Such modelingrnprovides the ability to help understand and optimize imagingrnconditions and also support improved sample preparationrntechniques.
机译:在扫描电子显微镜和双电子束聚焦离子束(FIB)-扫描电子显微镜系统中,使用扫描电子显微镜(SEM-STEM)的扫描透射电子显微镜已变得越来越普及。本文描述了为模拟这样的图像中的对比度而进行的建模。这样的建模提供了帮助理解和优化成像条件的能力,并且还支持改进的样品制备技术。

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