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Construction of nonlinear dynamic MEMS component models using Cosserat theory

机译：使用Cosserat理论构造非线性动态MEMS组件模型

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This paper presents a new modelling method for MEMS components based on Cosserat theory. By constructing Cosserat elements, generating symbolic code and development of numeric code in VHDL-AMS for selected demonstrators, we are able to effectively simulate and predict their linear and nonlinear behavior in estimating system performance and guiding the reliability verification process. The simplicity of the Cosserat approach follows from the possibility to formulate interconnected slender components in terms of a network of quasi-rigid bodies (Cosserat elements). This modularization fits well into the behavioral modelling where a relatively low degree of freedom is needed to capture salient features of system. Furthermore, the manner in which Cosserat elements and their interactions are formulated makes this method ideally suited for nonlinear dynamic simulations in the presence of large deflections.
机译：本文提出了一种基于Cosserat理论的MEMS零件建模方法。通过为选定的演示者构造Cosserat元素，生成符号代码以及在VHDL-AMS中开发数字代码，我们能够有效地模拟和预测其线性和非线性行为，从而评估系统性能并指导可靠性验证过程。 Cosserat方法的简单性在于可以用准刚性物体（Cosserat元素）网络构造互连的细长组件。这种模块化非常适合行为建模，在这种行为建模中，需要相对较低的自由度来捕获系统的显着特征。此外，Cosserat元素及其相互作用的表达方式使该方法非常适合存在大挠度的非线性动态仿真。

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