Universal Inspection Standard for Evaluation of Inspection System and Algorithm Sensitivity and Runability

机译：用于评估检验系统和算法灵敏度和运行性的通用检查标准

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The Verimask~(TM) inspection standard is widely used to qualify inspection systems due to its simplicity, easy of use in a production environment, and readily understandabel defect sensitivity table. The Verimask's major drawback is that it does not characterize the runability of an inspection system. Runability refers to the system's ability to inspect (i.e., its inspectivity of) various pattern types, a critical characteristic of inspection systems used for mask manufacturing. Comprehensive inspection system capability evaluation should include both sensitivity and runability tests. Other inspection test masks suffer the same shortcoming of Verimask~(TM); providing simple sensitivity analysis without runability evaluation.

机译：VeriMask〜（TM）检查标准广泛用于符合检测系统，由于其简单性，在生产环境中使用易于使用，以及易于理解的缺陷敏感表。 Verimask的主要缺点是它没有表征检查系统的可运行性。可运行是指系统检查的能力（即，它的检查性）各种图案类型，用于用于掩模制造的检查系统的关键特性。综合检测系统能力评估应包括敏感性和运行性测试。其他检验试验面具遭受与verimask〜（tm）的相同缺点;提供简单的敏感性分析，而无能为力评估。

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来源
《Conference on photomask and next-generation lithography mask technology》|2000年||共11页
会议地点
作者
Jerry X. Chen; Charles Howard; Kong Son; Franklin D. Kalk; IL-Ho Lee; SPIE-The International Society for Optical Engineering;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类摄影机具与设备;
关键词
Universal Inspection Standard (UIS~(TM)); Runability; Sensitivity; Capability; Inspection Systems;

机译：通用检测标准（UIS〜（TM））;无法运行;敏感性;能力;检查系统;

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