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The Polyimides Photoresist for Multilevel-Interconnect VLSI Technology

机译：用于多级互连VLSI技术的聚酰亚胺光刻胶

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So the number of diverged mechanisms is proposed to the silylation reaction and, obvious enough, under different circumstances the process refers to variant schemes. Semiempirical calculations in PM-3 approach scope permit the sufficient evaluation of original reagents and the assistance in selecting the closest system fit.

机译：因此，对于甲硅烷基化反应提出了许多不同的机理，并且很明显，在不同情况下，该过程是指不同的方案。 PM-3方法范围内的半经验计算可对原始试剂进行充分评估，并有助于选择最接近的系统拟合。

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来源
《》|2003年|P.136-146|共11页
会议地点 Zvenigorod(RU);Zvenigorod(RU);Zvenigorod(RU)
作者
Savinskii N.;
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作者单位

Institute of Microelectronics and Informatics of RAS, Universitetskaya 21, Yaroslavl, Russia;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词

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