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Automatic metrology algorithm identification using Pattern Matching

机译：使用模式匹配的自动计量算法识别

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The number of measurement points and their types are increasing with the increasing challenges of the new technology nodes. The industry is challenged to enhance and automate the current Design Based Metrology (DBM) recipe generation flow. This paper describes a novel methodology based on Pattern Matching (PM) to automate the flow of assigning the metrology algorithm parameter to each measurement location. Each measurement location in the design space is examined against a pre-populated database of patterns to select the proper metrology algorithm. The proposed technique increases the speed and efficiency of assigning this parameter to each location, and hence increases the speed of CD-SEM recipe generation. This novel flow is expected to ensure consistency between process characterization, modeling, verification and product monitoring and control.
机译：随着新技术节点的挑战日益增加，测量点的数量及其类型也在增加。业界面临着增强和自动化当前基于设计的计量学（DBM）配方生成流程的挑战。本文介绍了一种基于模式匹配（PM）的新颖方法，可自动将计量算法参数分配给每个测量位置的流程。针对设计空间中的每个测量位置，根据预先填充的图案数据库进行检查，以选择适当的计量算法。所提出的技术提高了将该参数分配给每个位置的速度和效率，因此提高了CD-SEM配方生成的速度。这种新颖的流程有望确保过程表征，建模，验证和产品监控之间的一致性。

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