• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文会议>International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems >Resistive pressure sensors integrated with a coriolis mass flow sensor
【24h】

Resistive pressure sensors integrated with a coriolis mass flow sensor

机译：与科里奥利质量流量传感器集成的电阻压力传感器

获取原文
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

We report on a novel resistive pressure sensor that is completely integrated with a Coriolis mass flow sensor on one chip, without the need for extra fabrication steps or different materials. Two pressure sensors are placed in-line with the Coriolis sensor without requiring any changes to the fluid path. This enables the measurement over the pressure drop of the Coriolis mass flow sensor and ΔP flow sensing. By combining this pressure drop with the output signal of the Coriolis mass flow sensor, real-time viscosity characterization is also possible. Since the pressure sensor consists of a Wheatstone bridge, no complex interfacing electronics are needed. The first characterization of the sensor shows a linear sensitivity of 4 μVbar for a pressure range from 0 bar to 1 bar.
机译：我们报告了一种新颖的电阻式压力传感器，该传感器与科里奥利质量流量传感器完全集成在一个芯片上，而无需额外的制造步骤或使用不同的材料。两个压力传感器与科里奥利传感器串联放置，无需对流体路径进行任何更改。这样就可以对科里奥利质量流量传感器的压降和ΔP流量进行测量。通过将该压降与科里奥利质量流量传感器的输出信号结合起来，还可以进行实时粘度表征。由于压力传感器由惠斯通电桥组成，因此不需要复杂的接口电子设备。传感器的第一个特性显示，在从0 bar到1 bar的压力范围内，线性灵敏度为4μVbar。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号