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Spiral zone plate imaging for soft x-ray microscopy

机译：软X射线显微镜的螺旋区板成像

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Phase sensitive x-ray microscopy techniques are important in the study of samples that exhibit phase contrast. One way to detect these phase effects is to optically implement the radial Hilbert transform by using spiral zone plates (SZPs), resulting in the imaging of the amplitude and phase gradient in a sample. This is similar to differential interference contrast imaging in light microscopy. Soft x-ray microscopy using a SZP as a single element objective lens was demonstrated through the imaging of a 1 μm circular aperture at a wavelength of 2.73 nm. A regular zone plate, a charge 1 SZP, and a charge 2 SZP were fabricated on a silicon nitride membrane using electron beam lithography. The negative e-beam resist hydrogen silsesquioxane (HSQ) was used for patterning, and the zone plates were electroplated with nickel. These zone plates were then used as the imaging optic in a soft x-ray microscopy setup.
机译：相敏感的X射线显微镜技术在研究表现对比度的样本中是重要的。检测这些相位效果的一种方法是通过使用螺旋区板（SZPS）光学实现径向希尔伯特变换，导致样品中的幅度和相位梯度的成像。这类似于光学显微镜中的差分干扰对比度成像。使用SZP作为单个元素物镜的软X射线显微镜通过1μm圆形孔的成像以2.73nm的成像进行了说明。使用电子束光刻在氮化硅膜上制造了常规区域板，充电1szp和电荷2 szp。负电子束抗蚀剂氢二氧化硅氧烷（HSQ）用于图案化，将区板用镍电镀。然后将这些区域板用作软X射线显微镜检查中的成像光学器件。

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