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機械学習を用いて設計したL3ナノ共振器の作製・評価

机译:使用机器学习设计L3纳米谐振器的制备与评价

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摘要

我々は2次元フォトニック結晶を用いた共振器の高Q値化に、理論と実験の両面から取り組hできた。特にマルチヘテロ共振器に関して、10億を超える理論Q値と1100万を超える実験Q値を実現している 1)。一方、L3共振器は空気孔を3個埋めた共振器であり、マルチヘテロ共振器と比較して、フットプリントおよびモード体積が小さいという特長をもつ。L3共振器に関してはこれまで、漏れ分布可視化に基づく共振器周辺の孔位置の調整(9自由度)により、理論的にはQ値420万のL3共振器構造が得られ、実験的にはQ値210万(Qunloaded)が達成されている 2), 3)。さらに前回、機械学習に基づく繰り返し探索を用いた設計手法により、共振器周辺の孔位置を25自由度に渡って調整した結果、理論Q値2900万のL3共振器構造が得られた 4), 5)。今回、この機械学習を用いて設計したL3共振器の作製および評価を行ったので報告する。
机译:我们可以在使用二维光子晶体谐振器的高Q-腐蚀,并从理论和实验工作。特别是,超过十亿的理论Q值和超过11亿多heteresconators实验的Q值已经实现1)。在另一方面中,L3谐振器是填充有三个空气孔的谐振器,并具有一个功能,占地面积和模体积是相对于该多heteresconator较小。关于L3的谐振器,在理论上通过理论上通过调节围绕所述谐振器中的孔的位置基于泄漏分布可视化获得420万L3谐振器的L3谐振器结构,和210万(QUNLOADED)实验Q A值已经达到2), 3)。另外,作为调整围绕谐振器孔位置,通过使用基于机器学习重复搜索的设计方法的25个自由度的结果,获得了2900万L3的谐振器结构的理论Q值4),五)。这一次,我们报告和评估L3谐振器使用该机器学习设计。

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