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Protective Overcoats for Use in Extremely High Density Magnetic Recording

机译：用于极高密度磁记录的保护外涂层

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Carbon nitride and titanium diboride films were grown using magnetron sputtering. The carbon nitride films have an ultrasmooth surface and exhibit excellent corrosion resistance at film thickness of around 2 nm. Titanium diboride films deposited at ambient temperature are crystalline and textured with hardness exceeding 40 GPa. Additionally, growth of amorphous carbon nitride films by negative carbon ion beam deposition was investigated. The role of bombardment by ionized species in the resulting film properties is discussed.
机译：使用磁控溅射生长氮化碳和钛二硼化钛膜。碳氮化物膜具有超多余表面，在膜厚度为约2nm的膜厚度上表现出优异的耐腐蚀性。沉积在环境温度下的钛的二硼化钛膜是结晶的，并且具有超过40GPa的硬度纹理。另外，研究了通过负碳离子束沉积的非晶碳氮化膜的生长。讨论了在所得薄膜特性中通过电离物种的轰击的作用。

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