酸素表面波プラズマによるポリイミドの表面改質

机译：氧表面波等离子体的聚酰亚胺表面改性

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広く産業用に用いられるプラスチック材料の中でもポリイミドは安定で強固で耐熱温度が高ぐ、耐薬品性や耐摩耗性においても優れ、フレキシブルプリント基板のベース材料として利用される。本研究では、プラズマ中の酸素ラジカル密度及びプラズマパラメータに注目して、酸素表面波プラズマでポリイミドの表面改質を行った結果について報告する。

机译：用于工业用途的塑料材料中在这项研究中，我们报道了具有氧表面波等离子体的聚酰亚胺表面改性的结果，聚焦在等离子体中的氧自由基密度和等离子体参数。

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来源
《電気学会全国大会》|2012年||共1页
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作者
蛭川能成; 鈴木脩一; 菅谷洋平; 小野茂;
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中图分类 TM3-53;
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