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多感覚センサ指向プローブ装着マイクロマニピュレーションシステムに関する研究(第1報)~多種機能のセンサを用いたプローブの接触状態検出について

机译:使用多功能传感器的多敏感传感器导向探头探头安装微操纵系统(第一报告)接触状态检测探头

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摘要

本研究においては、多種機能の複数のセンサをプローブに装着し、半導体デバイスへのアプローチ段階から各種センシング情報を組み合わせて活用することにより、人間の接触情報処理機能を加味した柔らかな接触制御過程を実現することを目指している。本論文においては、アプローチ段階から電気的特性の測定段階までを、いくつかの動作ステップに分けるとともに感性的な多感覚センサ指向プローブを装着した基礎実験システムを用い、装着した半導体ひずみ力センサとPSDセンサからのセンシング情報を用いた接触状態の検出実験の研究結果について報告する。
机译:在该研究中,通过将多个功能的多个静音传感器附加到探针并利用来自方法阶段到半导体器件的各种感测信息来应用人类接触信息处理功能的软接触控制过程。我旨在实现它。本文中,一种基本实验系统,具有敏感多感应传感器的基本实验系统,通过将电特性从方法步骤划分为电气特性的测量阶段,并使用配备敏感的基本实验系统定向传感器探头,PSD我们使用传感器的感测信息报告接触状态的检测实验的研究结果。

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