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【24h】

非球面形状のオンマシン計測システムの開発(第3報)－接触角一定走査法におけるプローブ走査速度の高速化の検討

机译：非球面形状的机床测量系统（第3报告）的开发 - 接触角恒定扫描方法探头扫描速度加速的检查

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近年，デジタルカメラやDVD などのディジタル製品の普及にともない，光学部品の高精度加工のニーズが高まりつつある．光学部品の量産金型の製造工程では，切削·研削·研磨などの加工を行った後に形状誤差を測定し，その結果により補正加工がなされる．近年では光学部品の高NA 化により，高傾斜角を持つ光学部品も表れているが，接触式の形状測定においては測定中の分力変化などにより，測定精度の悪化が懸念される．これまで筆者らは，傾斜角の変化による測定精度の悪化を防ぐため接触角一定走査法を提案した．また測定環境の変化によるドリフトを抑制するためにSIALON製のエアスライドを用いた測定ユニットを開発し，それを用いて接触角一定走査法の効果を示した．本報では測定時間の短縮を図るため，開発した測定ユニットを用いて測定の高速化を行ったので報告する．
机译：近年来，对光学元件的高精度加工的需求随着数字照相机和诸如DVD的数字产品而增加。在光学元件批量生产模具的制造过程中，在处理诸如切割，研磨和抛光的处理之后测量形状误差，并且通过结果执行校正处理。近年来，尽管光学元件的高NA，具有高倾斜角的光学部件也被称为，但是在接触型形状测量中，涉及测量精度的劣化程度，例如测量期间测量的变化。到目前为止，我们提出了一种接触角恒定扫描方法，以防止由于倾斜角的变化而导致测量精度的劣化。另外，使用由Sialon制成的空气幻灯片的测量单元被开发出由于测量环境的变化而抑制漂移，并且使用它示出了接触角恒定扫描方法的效果。在本报告中，为了缩短测量时间，因此由于使用开发的测量单元加速测量。

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