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【24h】

ダイヤフラム型ホットエンボス装置を用いたマイクロインプリントにおける型ミスアライメントの影響

机译:使用隔膜热压印装置微内印刷型错位的影响

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摘要

本研究では,流体圧によって駆動されるダイヤフラムによって金型を押圧する新しい押圧機構によるインプリント装置を開発する.本装置では,アライメントの狂いや装置の弾性変形に対してダイヤフラムが弾性変形し追随するため,装置の弾性変形の影響を受け難く,型ミスアライメントに対する調整が不要となることが期待できる.
机译:在这项研究中,我们开发了一种具有新的压制机构的压印设备,该压制机构通过由流体压力驱动的膜片压力模具。在该装置中,由于膜片弹性变形并进行了对准的弹性变形和装置的弹性变形,因此可以预期受到器件弹性变形的影响,并且预计将调整类型不准确变得不必要。

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