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ダイヤモンド工具を用いた平削り型切削によるニオブ酸リチウムの微細溝加工に関する研究

机译：用金刚石工具扁平切削锂铌酸盐细槽加工研究

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近年，バイオや医療などの分野で試薬の搬送から攪拌，分析をワンチップ上に集積化した微小分析システム(μ-TAS) の実用化に向けた研究が盛hに行われている．著者らはこれまでニオブ酸リチウム(以下LNと略)の弾性表面波(以下SAWと略)素子をマイクロポンプとして用いた送液システムの実現に向け，切削加工による流路作製を検討してきた．その結果，結晶依存性の非常に強い脆性材料であるLNに対してある程度の切込み以下で延性モード切削が可能であることを明らかにした．また，SAWは流体のみならず粉体の移送も可能であり，溝部において伝播方向が変化することが明らかになった．このようなLNのSAW特性を利用したデバイスを作製するためには，底面が円滑でエッジ部分に欠けが少ない良好な微細溝を加工する必要があり，マイクロエンドミル加工によってSAWを反射させるための微細溝の作製を試みたが，エッジ部のクラック発生が問題となっていた．これは，エンドミルによる断続切削が大きな原因と考えられるため，一般的に鋭利な切れ刃を持つとされているダイヤモンド工具による非断続切削を行うことにより改善されることが期待される．そこで本研究では，超硬マイクロエンドミルによる溝加工に代り，ダイヤモンドバイトによる平削り型直線送り切削による微細溝の製作を試み，溝エッジ部の欠けや仕上げ面性状について検討した．
机译：近年来，实际使用的微分析系统（μ-TAS），其中在搅拌和试剂的分析研究中，如生物和医学治疗区域被集成在一个单芯片上。作者已经检查用于通过切削制造的流路，朝向实现使用铌酸锂的弹性表面波（以下简称为LN）（以下简称为LN），其为微泵的液 - 液体系。其结果是，已经发现，延性模式切削是可能低于一定量切口相对于LN，其为结晶的依赖性很强脆性材料。此外，SAW不仅流体而且粉末转移，并且它已经很清楚，传播方向在凹槽变化。为了使用这样的LN的SAW特性，以产生设备，有必要与平滑过程中具有良好的细沟并缺乏丢失边缘部分，并精细沟，其体积小，并且microend铣削我试图使一个槽，但裂纹产生的边缘部分的是一个问题。这是预期到由通常被认为是具有锋利的切削刀片，如间歇切断由端铣刀大的金刚石工具执行非拦截切割得到改善。因此，在该研究中，而不是由碳化物microend磨切槽，通过将金刚石字节菱形直线进给切削的微细槽的制造尝试，与槽边缘部分和光洁度特性的碎裂边缘部进行了审查。

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