TEM によるトランスミッション部品のしゅう動面直下観察

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自動車部品を含むしゅう動部品は稼動中にしゅう動面表面から摩耗粉が放出される．摩耗粉の放出がある程度増えると，表面形状に変化をもたらし，しゅう動部品の機能に影響を与えるようになる．これら摩耗粉はしゅう動面に形成された油膜及び油膜が薄くなったしゅう動面で発生しているせh断力や叩くような力が連続的にかかる事で，しゅう動面直下数μMの部分に内在する空隙やクラックの進展，剥離が発生し，摩耗粉と成長していると思われる．しかし，起点となるしゅう動面直下（断面）の詳細な観察を行った事例は意外に少ない．透過型電子顕微鏡（TEM）でしゅう動面直下（断面）を観察する場合，通常TEM 試験片ホルダーにΦ3 mm，厚さ0.1 mm の薄い円盤状に加工した試験片を取り付けて観察する．厚い部分は電子線が通りにくく，コントラストが付きにくい為，試験片の中心部が最も薄くなるよう電解研磨や化学研磨，イオンミリング等で薄膜化を行う．このため，観察したい面に合わせて加工するのは困難であった為，TEM による観察報告が少ない．TEM は高倍率で且つ物質の内部構造解析も含む形で観察できるのが特徴である．電子線を通過させて観察する為，物質の内部情報も一緒に知る事が可能である．例えば観察に用いる電子線は波としての性質も持っている為，電子回折(ED)パターンを利用する事で結晶方位や構造などを得ることができ，転位や空隙，微細クラックなどの情報が得られる．そこで今回はこれらTEM 試験片作製に有効な加工方法として，近年普及している微細加工用FIB（集束イオンビーム）を用いる事によって，いままでTEM 観察しにくかったしゅう動面観察を行った例を紹介し，新たな研究手法として活用の参考にして欲しいと考えている．

机译：汽车部件包括车辆的移动部件。磨损面粉从移动表面表面释放。随着磨损面粉增加放电到某种程度，它具有在表面形状的变化，并影响移动部的功能。这些磨损粉在油膜，并用薄的移动表面的油膜，并且功率如H融合的移动表面上产生和攻丝连续地，和它的数目被认为空隙和固有裂纹的进展在该部分中产生，并且发生剥离并且随着磨损粉末而生长。然而，出乎意料地存在于移动表面下方的（横截面）的详细观察。在立即观察移动表面（横截面）的透射型电子显微镜（TEM）时，TEM测试件保持器用于观察厚度为0.1mm，厚度为0.1mm的薄圆盘形状的试样。由于厚壁部是难以通过电子束，并且对比度难以收回，薄膜与电解抛光，化学抛光，离子研磨或类似物，以使试验片的中央部分成为thinth进行。因此，由于难以根据要观察到的表面来处理，因此TEM的观察报告很小。 TEM以高倍率为特征，并且可以以包括物质的内部结构分析的方式观察到。为了通过电子束观察，可以了解物质的内部信息。例如，由于用于观察的电子束具有作为波的波，因此可以通过使用电子衍射（ED）图案来获得晶体取向，结构等，以及诸如错位，气隙的信息，并且获得细微裂纹，这是可能的。因此，这次TEM测试是一种有效地制作一个有效的方法，近年来，通过使用精细加工FIB（聚焦离子束）难以观察TEM的TEM观察的示例近年来，我们相信，我们希望您可以使用它作为一个新的研究方法。

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来源
《トライボロジー会議》|2014年||共2页
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作者
松本謙司;
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正文语种
中图分类 TH117.1-53;
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