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MSE 試験および摩擦試験によるDLC 膜の摩耗特性の比較

机译：MSE试验和摩擦试验DLC膜磨损性能的比较

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ダイヤモンド状カーボン(DLC)膜は耐摩耗性と摩擦特性に優れることから，切削工具，金型，摺動部材などに用いられている．DLC 膜はアークイオンプレーティング法，マグネトロンスパッタリング法，プラズマCVD 法など様々な方法でコーティングされ，それぞれ異なる特徴を持つ膜が生成されると考えられている．他方，DLC 膜は摩擦試験，硬さ試験，ラマン分光分析，弾性反跳陽子検出法，エリプソメトリーなど様々な方法で評価されるが，実用上の特性とは必ずしも一致しないという問題がある．岩井らは，アルミナ微粒子を水に混合したスラリーを薄膜表面に噴射し，再現性良く膜を微量ずつ摩耗させるマイクロスラリージェットエロージョン(MSE)法でDLC膜の評価を行っている．この試験による摩耗率を硬さや水素含有率と比較すると，硬さの増加とともに摩耗率が減少し，水素含有率の増加とともに摩耗率が増加するなどの大まかな傾向は予想される方向と一致するが，そのような傾向から外れる部分も見られた．そこで，本研究ではMSE 試験による摩耗率がDLC 膜のどのような特性の影響を受けているか調べるため，様々な種類のDLC 膜をコーティングしたピンとアルミナプレートを用いて往復式摩擦試験を行い，その摩耗体積とMSE 試験による摩耗率を比較した．
机译：由于类金刚石碳（DLC）膜具有优异的耐磨损性和摩擦特性，它用于切削工具，模具，滑动部件等。据信，DLC膜以各种方式涂覆，例如电弧离子镀，磁控溅射，等离子体CVD方法，并且产生具有不同特征的膜。另一方面，DLC薄膜以各种方式评估，例如摩擦试验，硬度测试，拉曼光谱，弹性抗正常检测方法和椭圆形测量，但存在实际特性不一定匹配的问题。 IWAI通过微观喷射侵蚀（MSE）方法评估，其中与氧化铝细颗粒混合的浆料与薄膜表面混合，并且可以磨损膜的痕量呈痕量的DLC膜。通过该测试的硬度和氢含量的磨损率比较，磨损率与硬度的增加，和粗糙的趋势，例如增加在水的量降低，与增加的氢含量，以及所述粗糙趋势预计可以预期的。然而，从这种趋势拆下的部件也可见。因此，在本研究中，我们使用销和与各种类型的DLC膜，氧化铝板调查什么由MSE测试磨损速率是由DLC膜受到磨损进行的往返摩擦试验，磨损率比较体积和MSE测试。

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