AEROSOL DEPOSITION METHOD FOR ON-DEMAND PROCESS - Reduction of process steps and device cost on rapid production system of high speed optical MEMS scanner for small amount

机译：适用于按需过程的气溶胶沉积方法 - 减少高速光学MEMS扫描仪的快速生产系统的过程步骤和设备成本，少量

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Aerosol deposition (AD) method is one of the newly developed spray coating method with powder materials. High density consolidation of ceramic powder at room temperature can be obtained by this method without sintering at high temperature. Therefore, the improvement of device performance, the reduction of energy consumption and process steps lead to reduction of production cost on the functional device production simultaneously is expected. Rapid and low cost production system (named as on-demand production system) for a high performance optical micro scanner were fabricated using AD method for formation of piezoelectric thick layer, ink-jet printing for metal wiring and mechanical punching for structuring of micro scanner.

机译：气溶胶沉积（AD）方法是具有粉末材料的新开发的喷涂方法之一。通过在高温下烧结，可以通过该方法获得室温在室温下的高密度固结。因此，预期设备性能的改善，能量消耗和工艺步骤的降低导致同时对功能装置生产的生产成本降低。使用AD方法制造了高性能光学微扫描仪的快速和低成本生产系统（命名为按需生产系统），用于形成压电厚层，用于金属布线的喷墨印刷和用于结构化的微型扫描仪的机械冲孔。

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来源
《IMAPS/ACERS International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies》|2007年||共6页
会议地点
作者
Jun Akedo; Shizuka Nakano; Kiwamu Ashida; So Baba; Jaehyuk Park; Akito Endo;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类 TN4-53;
关键词
Aeroso Deposition; Optical scanner; On-demand; Piezoelectric; MEMS; Mechanical punching;

机译：气溶胶沉积;光学扫描仪;按需;压电;MEMS;机械冲孔;

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