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【24h】

RF MEMS Switch Using Silicon Cantilevers

机译：RF MEMS开关使用硅悬臂

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This paper introduces a new concept in RF MEMS switches intended for high RFpower applications. The novel switch architecture employs electrothermal hydraulic microac-tuators to provide mechanical actuation and 3D out-of-plane silicon cantilevers that have bothspring action and latching mechanism, to create an OFF-state gap separation distance of 200 between ohmic contacts. Having simple assembly, many of the inherent problems as-sociated with the more traditional in-plane suspension bridge and cantilever beam type archi-tectures can be overcome. A SPST switch has been investigated and its ON-state insertion lossand return loss are less than 0.5 dB and greater than 15 dB, respectively; while OFF-state isola-tion is better than 30 dB, up to 12 GHz.
机译：本文介绍了用于高RFPower应用的RF MEMS交换机的新概念。新颖的交换机架构采用电热液压微法 - 小块，以提供具有既有动作和锁定机构的机械致动和3D外平面硅悬臂，以在欧姆触点之间产生200的断开状态间隙分离距离。具有简单的组装，可以克服许多与更传统的面内悬架桥和悬臂式成型型术的固有问题。已经研究了SPST开关，其在状态插入损耗和返回损耗分别小于0.5 dB，大于15dB;偏离状态isola-tion优于30 dB，最多12 GHz。

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