毫米波悬臂梁串联反射型接触式RF-MEMS开关的研究

戴永胜; 方大纲; 张宇峰; 祁高品; 朱健; 郁原卫

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毫米波悬臂梁串联反射型接触式RF-MEMS开关的研究

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介绍了毫米波悬臂梁接触式反射型RF-MEMS串联开关芯片的设计、制造和测试。采用三维电磁场仿真软件AnsoftHFSS进行仿真和优化设计,开关芯片尺寸为:0.8mm×0.95mm×0.4mm,芯片测试结果为:在50GHz频率插入损耗为1.1dB,隔离度测试值约为23dB,设计和测试的结果吻合较好。这种RF-MEMS开关可在毫米波系统中广泛应用。

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来源
《微波学报》 |2008年第3期|74-77|共4页
作者
戴永胜; 方大纲; 张宇峰; 祁高品; 朱健; 郁原卫;
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作者单位

南京理工大学;

南京210094;

南京电子器件研究所;

南京210016;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微波与超高频技术;各种开关;
关键词
共面波导; 毫米波开关; 插入损耗; 隔离; 驱动电压;

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