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ダイヤモンドスラリーを用いたマルチワイヤソーに関する研究-砥粒とベースオイルの性質が加工特性に与える影響

机译:用金刚石浆料效应对加工特性的金刚石浆料效应研究

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摘要

遊離砥粒を用いたマルチワイヤソー方式とは,砥粒とベースオイルを懸濁させたスラリーと細いワイヤ工具を高速走行させ,硬脆性材料を薄い板状に切り出す加工方法である.本方式は切断代が少ないことや,一度に複数枚のウエハの切断が行えること等の利点があるため,近年需要が増加しているLED の基板材料であるサファイアの切断加工への適応が検討されている.その場合に,シリコンや水晶の加工に用いられていた従来のマルチワイヤソーでは,スラリー中の砥粒にGC 砥粒が用いられていたが,サファイアはそれらの材料よりも高硬度であるため,GC 砥粒の代わりにダイヤモンド砥粒を用いることが注目されている.遊離砥粒を用いたマルチワイヤソー方式では,スラリーの性質の違いが加工精度に大きな影響を与えるため,本研究ではダイヤモンドスラリーを用いた場合の加工特性にスラリーの性質が与える影響を明らかにし,高精度な加工特性を得ることを目標としている.そして,本報告ではスラリー中に含まれる砥粒の形状,ベースオイルの粘性並びにスラリーの砥粒濃度が加工特性に及ぼす影響について明らかにした結果を述べる.
机译:使用游离磨粒的多线锯系统是用于在高速和磨料颗粒和浆料和细线工具和切成薄板细线工具行进的处理方法。这种方法具有的优点是,很少有切削剂,和有诸如在时间切割多个晶片的优点和适应蓝宝石的切割过程中,这是LED的基板材料,其中的需求正在增加在近年来更是一个研究,它已经完成。在这种情况下,在用于硅或晶体加工的现有的多线锯,GC磨料颗粒被用于在浆料中的磨粒,但是蓝宝石的硬度比那些材料高,所以GC它已注意到,金刚石磨粒用来代替磨粒。在使用游离磨料多线锯系统,浆料的性质不同,对加工精度产生重大影响,所以在使用金刚石浆时的加工特性浆料的性能的影响是明确,并且其目的是得到准确的加工特性。并且在本报告中,包含在浆料中的磨粒的形状,基础油的粘度,并且在加工特性的浆料的磨料颗粒浓度的影响。

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