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数値制御プラズマCVM によるヨハンソン型Si(111)二重湾曲分光結晶のダメージフリー加工(第3報)-形状創成加工後の表面粗さの低減

机译:Johanson型Si(111)双曲程光谱晶体的无损坏处理通过数值控制等离子体CVM(第3次报告) - 表面粗糙度在形状产生处理后的表面粗糙度

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摘要

蛍光X 線分析法は,物質の構成元素を非破壊で定性的,定量的に分析する分析法である.迅速,簡便という利点を活かし,研究室レベルという限られた装置構成内での極微小部分析が求められている.そのためには,試料から発生する蛍光X線の量を増やし,バックグラウンドを低減する必要がある.研究室レベルにおいては入射X 線の強度に限界があるため,X 線を集光することで局所的に高強度化させなければならない.したがって,入射X 線を微小領域に集光し,同時に波長を単色化するができる分光集光素子を作製し,励起光学系に適用する必要がある.この要求を同時に満たす分光集光素子が,二重湾曲分光結晶(Doubly-Curved-Crystal: DCC)である.DCC は垂直する2 方向に曲率を有し,湾曲形状によりX 線を集光,ブラッグ反射によりX 線を単色化することができる.本研究では,DCC の中でもブラッグ条件を満たす有効領域が広く,より高い集光能力を有するヨハンソン型DCC の作製を目標としている.
机译:荧光X射线分析是用于分析材料的无损元素的定性和定量分析的分析方法。实验室水平的猛烈需要利用快速方便,以及有限的设备配置。为此,有必要增加从样品产生的荧光X射线量并减少背景。由于入射X射线的强度受到实验室水平的限制,因此通过冷凝X射线必须高强化X射线。因此,必须将入射X射线聚焦在分钟区域,并且同时产生能够单色波长的光谱冷凝元件,并将其施加到激发光学系统上。同时满足该要求的光谱收集元件是双曲线晶体:DCC。 DCC在两个方向上具有曲率,以垂直地,具有弯曲形状,并且可以聚焦X射线,并且可以通过布拉格反射单色化X射线。在这项研究中,在DCCS中,满足布拉格条件的有效面积宽,旨在生产具有更高的冷凝能力的约翰逊型DCC。

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