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【24h】

MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第6報）－平面測定用デバイスの製作

机译：用于多点方法扫描形状测量的传感器装置的开发应用MEMS技术（第6次报告） - 用于平面测量的装置

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機械加工面の平面度測定では，修正加工時に加工物の再取り付け誤差の生じない機上測定が有効である．しかし，機上測定では加工現場の環境やコストの点から基準器を用いることは一般的に難しい．そこで，平面度を検証する方法として走査型形状測定に着目した．走査型形状測定では，基準を用いずに変位センサ出力に含まれる試料形状と走査ステージの運動誤差を分離する手法として多点法が用いられる．本研究の目的は高精度な形状測定用の多点法デバイスの製作である．平面度を測定するため，既報の真直度測定用3点法マルチカンチレバーデバイスを発展させ，3点法用の高分解能変位センサ3つに加え，次の走査線上に2つセンサを追加する．これにより，ライン間のつなぎ合わせを行い，平面形状を求める手法を用いる．しかし，実際の測定においては，5つのセンサを等間隔に配置するのは一般に困難で間隔誤差が生じるため，それに起因する誤差が形状演算値に生ずる．そこで，本研究では5つのセンサを用いた走査形状測定に用いる平面測定用マルチカンチレバーデバイスをMEMS技術で一体として製作する．これにより，5つの高分解能変位センサを高精度に配置することができ，間隔誤差等，センサアライメントに起因する誤差を非常に小さくできる．本報では，第４報で示した水ガラスを用いた回路保護方法を改善することで，水ガラス保護層のムラをなくし，ウェットエッチングの際により確実な回路保護を試みた結果を示す．また，深掘りドライエッチングによって探針周辺部を掘り下げ効率よく探針を製作する試みの結果を報告する．
机译：在加工表面的平坦性测量中，测量在校正处理时不会发生工件的重新安装误差的机器是有效的。然而，通常难以从机器测量中的处理站点的环境和成本中使用参考装置。因此，我们专注于扫描形状测量作为验证平整度的方法。在扫描形状测量中，多点方法用作分离位移传感器输出中包含的样品形状的方法和扫描级的运动误差而不使用该参考。本研究的目的是为高精度形状测量制造多点方法装置。为了测量的平整度，对于原始消光测量三点多悬臂设备很发达，增加两个高分辨率位移传感器用于三点方法，和两个传感器上的下一个扫描线加入。结果，执行线之间的连接以使用用于确定平面形状的方法。然而，在实际测量中，通常难以以相等的间隔放置五个传感器，并且发生间隔误差是因为发生间隔误差，这导致它引起的误差引起了它的形状计算值。因此，在本研究中，用于使用五个传感器扫描形状测量的平面测量的多悬臂装置是一体地与MEMS技术制造的。由此，可以高精度地布置五个高分辨率位移传感器，并且由诸如间隔误差的传感器对准引起的误差可能非常小。在本报告中，我们通过第四次报告所示的水玻璃改善电路保护方法，以消除水玻璃保护层的不均匀性，并显示在湿法蚀刻期间保护电路保护的结果。另外，试图通过停止排出干蚀刻来产生探针并有效地产生探针的结果。

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