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硫酸バリウムを含むメカノケミカル超砥粒砥石による単結晶シリコンの超仕上特性

机译：单晶硅具有含硫酸钡的机械化学超级磨石的单晶硅超级整理性能

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単結晶シリコンの加工工程において，ラッピング，ポリシングの前工程として，ダイヤモンド砥石による高精度, 高能率かつダメージ深さの少ない研削加工が行われている．加工能率，加工精度を向上させるためには，ダイヤモンド砥石の耐摩耗性の向上と長寿命化が必要である．筆者らはこれまでに，ダイヤモンド砥粒に化学的作用をもつ軟質な硫酸バリウム砥粒を加えたメカノケミカルダイヤモンド砥石を開発した．この砥石はダイヤモンド砥粒の摩耗機構を鋼中への炭素拡散から，硫酸バリウムによって酸化された鋼表面をダイヤモンドが還元することで，砥石の摩耗が抑制されることを明らかにした．この考え方を用いると，シリコンにおいても摩耗機構の転換により，ダイヤモンド砥粒の化学的摩耗が抑制される可能性がある．本報では，この点を明らかにするために，硫酸バリウム砥粒を含むメカノケミカルダイヤモンド砥石による単結晶シリコンの超仕上性能を調査し，従来のダイヤモンド砥石の超仕上性能と比較したので報告する．
机译：在单晶硅的处理步骤中，具有高精度，高效率和通过金刚石磨石损伤深度研磨抛光的前处理。为了提高加工效率和加工精度，有必要改善金刚石砂轮的耐磨损性，使用寿命长。作者已经开发出一种机械化学金刚石砂轮用金刚石磨粒的化学作用，硫酸软磨粒。磨石表明，金刚石磨粒的磨损机理是碳扩散到钢中，通过硫酸钡氧化钢表面的减少被抑制，从而导致抑制砂轮的磨损。有了这个概念，它可以抑制金刚石磨粒的化学磨损是由于即使在硅的磨损机制的转换。在本报告中，为了阐明这一点，通过机械化学金刚石单晶硅的超流性能研磨含有硫酸钡的磨粒轮调查和与常规金刚石磨石的超精加工性能相比报道。

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