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【24h】

炭化ケイ素を用いた水潤滑システムにおける許容荷重増加機構

机译：使用碳化硅水润滑系统允许的载荷增加机制

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半導体製造装置など特殊環境下での機械において水潤滑の応用が期待されている．これは，水に対する安全性と清浄性に加え，低粘度ゆえに流体潤滑下では極めて低い摩擦を容易に実現し得ることに起因している．しかし，低摩擦を発現する水の低い粘度は，低摩擦を維持するための許容荷重を低いものにする．それ故，水潤滑システムの実用化には，許容荷重の増加が不可欠であり，表面テクスチャの導入など動圧効果を利用した流体潤滑領域の拡大がしゅう動部設計の基本となる．一方，さらなる許容荷重の向上に，境界潤滑を想定する極めて過酷な接触状態での低摩擦の実現が求められる．SiC の水潤滑下における許容荷重近傍での摩擦機構を解明するためには，ナノメートル厚さの水が挟まれたSiC 間のせh断挙動解明が有効である．そのため本研究では，固体間に挟まれたナノメートル厚さの液体の挙動解析に有効であるナノ共振ずり測定(2)を行い，水潤滑下における許容荷重を増加させるための接触面に対する設計指針について検討した．
机译：水润滑的应用预计在特殊环境下的机器，如半导体制造设备。这是归因于安全和清洁水，并且由于流体润滑的低粘度，这可以很容易地实现极低的摩擦。然而，水表达低摩擦的低粘度使得用于维持低摩擦的容许负载。因此，在可允许的负荷的增加是对于实际使用的水润滑系统的必不可少的，并且使用动压效果，例如引入表面纹理的流体润滑剂的区域是移动单元的设计的基础。在另一方面，在为了提高耐受性负载，一个实现低摩擦的在一个非常严重的接触状态假设边界润滑是必需的。为了阐明附近的允许负荷的摩擦机构中的水润滑的SiC中，H-断裂行为，其中纳米厚度的水被夹是有效SICS之间阐明的。因此，在该研究中，对接触的设计方针表面用于增加水润滑的容许负载和增加水中润滑我检查关于它的允许负荷。

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