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【24h】

超精密ステージにおける複数センサを用いたフィードバック制御系の高帯域化

机译:超精密阶段中使用多个传感器的反馈控制系统高带宽

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摘要

一方で,適切な箇所にセンサを追加することで,検出状態量を増やすことができる.これにより設計自由度が増えるので,制御性能の向上が図れる.先行研究として,ガルバノスキャナ装置に対して圧電素子を用いた研究などが挙げられる.そこで本論文では,超精密ステージに対して,追加的な構造変更が困難な場合,既製品に対してセンサを追加するだけでフィードバック制御系の大幅な高帯域化を目的とする.最後に,シミュレーションおよび超精密ステージを用いた実験検証により,提案する制御系の有効性を実証する.また,センサの追加はコスト面でとかく敬遠されがちであるが,高帯域化による生産性の向上が結果的にセンサコストを上回る利益をもたらすのであれば,むしろ積極的にセンサを用いるべきであると考える.
机译:另一方面,通过将传感器添加到适当的部分,可以增加检测状态的量。结果,设计自由度增加,从而可以提高控制性能。作为领先的研究,可以提及使用压电元件相对于加尔夫斯科纳斯卡纳装置的研究。因此,在本文中,如果额外的结构变化难以改变到超精密阶段,则旨在通过将传感器添加到现成的产品中来实现反馈控制系统的显着高绷带。最后,使用模拟和超精密阶段的实验验证表明了所提出的控制系统的有效性。此外,虽然添加传感器往往在成本方面倾向于不情愿,但由于高绷带导致的生产率的提高导致高于传感器成本的利润,而且应该使用我认为的传感器。

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