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首页> 外文会议>年度精密工学会大会学術講演会 >タンデム低コヒーレンス干渉を用いた微小内径の非接触測定技術の開発（第4報）－誤差解析と内径測定実験
【24h】

タンデム低コヒーレンス干渉を用いた微小内径の非接触測定技術の開発（第4報）－誤差解析と内径測定実験

机译：使用串联低相干干扰（第4次报告） - 误差分析和内径测量实验，开发微流体直径的非接触式测量技术

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近年微細加工技術が進歩するにつれ，微小な管状の部品の精密な内径測定技術が要求されるようになってきた．しかし，タッチプローブを用いて精密な測定を行う手法などが主流であり，非接触に測定を行う手法は十分に確立していない．また高精度な顕微鏡を用いる測定手法でも，精度は良いが穴の一部の内径しか測定できないといった課題がある．そこで本研究では，タンデム低コヒーレンス干渉及び45°カット光ファイバを用いることで，これらの課題を解消する内径測定手法を提案した．さらに実験によりその手法の正当性を確かめるとともに，500 μm の内径測定に関して良い結果が得られた．また，測定の微細化を目指して測定用ファイバ素子の検討や解析法の確立を行ってきた．
机译：由于近年来微型制作技术先进，因此需要精确的内径测量技术进行微小管状部件。然而，使用触摸探针执行精确测量的方法是主流的，并且没有充分建立接触的测量方法。另外，即使在使用高精度的显微镜的测量方法中，也存在精度良好的问题，但只能测量孔的内径。因此，在本研究中，我们提出了一种内径测量方法，通过使用串联低相干干扰和45°切割光纤来消除这些问题。此外，通过实验验证该方法的合法性，获得了良好的结果，用于500μm的内径测量。此外，我们已经确定了测量纤维元件的措施和分析方法，目的是精制测量。

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