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Collimators and Collimator Arrays for Telecommunication Applications

机译：电信应用的准直器和准直器阵列

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Precision collimators and collimator arrays are increasingly critical components as telecommunication networks increase in bandwidth. In this paper we describe the collimator fabrication process at Corning Rochester Photonics Corporation. We describe replicated and etched collimator arrays and illustrate packaging concepts. Metrology and optical performance data is presented for both individual and arrayed collimators. Microlens surfaces etched into fused silica with surfaces sags of greater than 70 μm, surface finishes better than 30 A rms are presented. Collimator arrays with pointing errors less than 40 μRad, and microlens focal length uniformity error less than +/- 0.5% have been fabricated and the data presented.
机译：随着电信网络带宽的增加，精密准直仪和准直仪阵列已成为越来越重要的组件。在本文中，我们描述了康宁罗切斯特光子公司的准直仪制造过程。我们描述了复制和蚀刻的准直仪阵列并说明了包装概念。给出了单个准直仪和阵列准直仪的计量和光学性能数据。提出了微透镜表面蚀刻到熔融硅石中的表面下垂度大于70μm，表面光洁度优于30 A rms的情况。已经制造了指向误差小于40μRad，微透镜焦距均匀度误差小于+/- 0.5％的准直仪阵列，并提供了数据。

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