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High-sensitivity Capacitive Silicon micro-accelerometer

机译：高灵敏度电容式硅微加速度计

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In recent year,capacitive silicon micro accelerometer still is the research hotspot.How to enhance the detection accuracy and further expand its application fields is the emphases and difficulty,which's key point is to reduce noise. The noise mainly includes mechanical thermal noise and detection circuit noise. The weak signal detection ways are adopted to reduce the noise,to guide the design of sensitive element and the external circuit,to improve the system linearity and resolution. And through the static and dynamic noise test,the noise power spectral density can be tested;the accelerometer sensitivity can also be detected. After testing,we can see that the sensor's linearity is 1123.2mv/g-1,the static noise spectral density is 44.5ug/(Hz),the dynamic noise power spectral is 0.05mV/(Hz),which are superior to similar studies.
机译：近年来，电容式硅微加速度计仍然是研究热点。如何提高检测精度，进一步扩展其应用领域是重点和难点，降低噪声是关键。噪声主要包括机械热噪声和检测电路噪声。采用弱信号检测方式，以降低噪声，指导敏感元件和外部电路的设计，提高系统的线性度和分辨率。通过静态和动态噪声测试，可以测试噪声功率谱密度；还可以检测加速度计的灵敏度。经过测试，我们发现传感器的线性度为1123.2mv / g-1，静态噪声频谱密度为44.5ug /（Hz），动态噪声功率频谱为0.05mV /（Hz），优于同类研究。

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