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用ANSYS研究电容式硅微加速度计的静态灵敏度

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摘要

随着微机械加速度计的发展,其设计方法、结构工艺、系统实现及性能分析越来越需要深入研究,运用CAD进行分析是一种发展趋势.本文运用有限元方法,ANSYS软件并辅助Matlab分析了硅微电容加速度计的变换方程.

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来源
《中国声学学会2005年青年学术会议CYCA'05》|2005年|558-560|共3页
会议地点杭州
作者
孙淑珍; 洪连进; 赵亚杰;
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作者单位

中国声学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TH824.4;
关键词
电容加速度计; 硅微加速度计; ANSYS软件; 静态灵敏度;

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