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首页> 外文会议>Microelectronics technology and devices - SBMicro 2010 >Carbon-Modified Titanium Dioxide Deposited by E-Beam Aiming Hydrogen Sensing
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Carbon-Modified Titanium Dioxide Deposited by E-Beam Aiming Hydrogen Sensing

机译：电子束沉积的碳改性二氧化钛对氢的感应作用

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Titanium dioxide has presented a wide variety of applications throughout the years: a) as photocatalyst in photovoltaic cells (1,2); b) as a high-i layer in MOS devices (3); c) as surface coatings (solar cells, plastic window and etc) (4); d) as pigments in paintings (4); e) as catalysts for gas sensing (5, 6, 7, 8, 9) and so on.rnMeanwhile, there is a wide interest in hydrogen sensing due to the several types of applications for: chemical industries and transformer oils, among others (10, 11). In spite of palladium has been an important alternative for hydrogen sensing under temperatures up to 100°C (12); sometimes, the gas sensing imposes the necessity of operating in higher temperatures, such as in oil transformers where the temperatures go up to 165°C depending on the environment conditions and the oil exchange (13).
机译：多年来，二氧化钛已呈现出广泛的用途：a）作为光伏电池中的光催化剂（1,2）； b）作为MOS器件（3）中的高i层； c）作为表面涂层（太阳能电池，塑料窗户等）（4）； d）作为绘画中的颜料（4）； e）作为气体传感的催化剂（5、6、7、8、9等）。同时，由于以下几种类型的应用，氢传感引起了广泛兴趣：化学工业和变压器油，尤其是（ 10、11）。尽管钯已成为在高达100°C的温度下进行氢感测的重要替代方法（12）；但是，有时，气体感应强加了在较高温度下运行的必要性，例如在油变压器中，根据环境条件和机油交换，温度高达165°C（13）。

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