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首页> 外文会议>Optical System Alignment and Tolerancing; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6676 >Tolerancing and compensation of a Shack-Hartmann wavefront sensor
【24h】

Tolerancing and compensation of a Shack-Hartmann wavefront sensor

机译：Shack-Hartmann波前传感器的公差和补偿

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Phase estimation in a Shack-Hartmann wavefront sensor is susceptible to several sources of error, including spot position noise and induced aberrations. This paper presents an analysis of those errors for a specific instrument as well as an approach to compensation of the induced aberrations. The compensation scheme has its own sources of error, and this paper investigates the associated tolerances. In addition, experimental data is presented for a system that meets the tolerances and performs at the required accuracy.
机译：Shack-Hartmann波前传感器中的相位估计容易受到多种误差源的影响，包括点位置噪声和感应像差。本文介绍了针对特定仪器的那些误差的分析，以及一种补偿引起的像差的方法。补偿方案有其自身的误差源，本文研究了相关的公差。此外，还提供了满足公差要求并以所需精度执行的系统的实验数据。

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