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一种消除Shack-Hartmann波前传感器模型误差的方法

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一种消除Shack-Hartmann波前传感器模型误差的方法，其特点在于由下列步骤实现：(1)根据Shack-Hartmann波前传感器使用的光束分割元件的类型及布局，计算误差修正矩阵；(2)计算误差修正矩阵的逆矩阵；(3)对Shack-Hartmann波前传感器实际测量的结果(Zernike系数)作用误差修正逆矩阵。本发明在不改变实验步骤的基础上，对波前测量结果作用离线计算的模型误差修正矩阵以消除模型误差，只需离线计算一次模型误差修正矩阵，就能有效地消除Shack-Hartmann波前传感器模型误差和提高Shack-Hartmann波前传感器的测量精度，且具有普适性，适用于各种波前分割元件(如：微透镜阵列、微棱镜阵列)，也适用于各种探测器件(如：CCD、CMOS)等。

著录项

  • 公开/公告号CN1793805B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-03-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院光电技术研究所;

    申请/专利号CN200510130792.5

  • 发明设计人 李恩德;胡诗杰;戴云;张雨东;

    申请日2005-12-30

  • 分类号G01J9/00(20060101);

  • 代理机构11251 北京科迪生专利代理有限责任公司;

  • 代理人刘秀娟;成金玉

  • 地址 610209 四川省成都市双流350信箱

  • 入库时间 2022-08-23 09:09:07

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-02-24

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01J 9/00 授权公告日:20120321 终止日期:20141230 申请日:20051230

    专利权的终止

  • 2012-03-21

    授权

    授权

  • 2008-03-19

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-06-28

    公开

    公开

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