急冷と徐冷hot zone によるCZ 結晶成長中の格子間原子の発生機構－急冷の場合(Ⅰ)-

机译：快速冷却和慢冷热区在CZ晶体生长过程中间隙原子的生成机理-在快速冷却的情况下（Ⅰ）-

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高速成長から低速化すると空孔(Vs)領域から格子間原子(Is)領域に変化するが、rnVoronkov は拡散モデルのv/G で(v は引き上げ速度、G は温度勾配)これらの領域が分類できることをrn示した。その理由はv/G 小さいときIs の拡散がVs の拡散に対して優勢になるためと説明した。これrnに対して我々は実験結果から低速化により温度勾配が増大するためIs がその場で発生すると主張してrnいる。我々の主張を裏付けるため急冷タイプと徐冷タイプのhot zone を用いて結晶に与えるG の違いrnにより結晶を成長し、両者のVs 領域とIs 領域の発生分布を比較した。(目的と実験方法は両者に共通rnしているので予稿(Ⅰ)に纏め、実験結果と考察は予稿(Ⅱ)に纏める。

机译：当生长速度从快速生长降低时，空位（Vs）区域变为间隙原子（Is）区域。 Rn表示可以。我解释说，原因是当v / G小时，Is的扩散比Vs的扩散占优势。另一方面，从实验结果来看，我们认为Is是在原位生成的，因为温度梯度由于变慢而增加。为了支持我们的观点，由于赋予晶体的G的差异，使用淬火型和慢冷型热区来生长晶体，并比较了Vs和Is区的生成分布。（由于目的和实验方法是共同的，因此它们在草案（Ⅰ）中进行了总结，实验结果和考虑因素在草案（Ⅱ）中进行了总结。

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来源
《2018年第65回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集》|2018年|13.74|共1页
会议地点
作者
阿部孝夫; 高橋徹; 白井光雲;
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作者单位

信越半導体 takao.abe@seh.jp;

信越半導体;

阪大産研;

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