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首页> 外文会议>Proceedings of the Twenty-sixth annual meeting of the American Society for Precision Engineering >A SHORT-RANGE ERROR EVALUATION OF A WAVELENGTH MODULATION ENCODER
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A SHORT-RANGE ERROR EVALUATION OF A WAVELENGTH MODULATION ENCODER

机译：波长调制编码器的近距离误差评估

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This study reveals the short-range accuracy of the modulated laser encoder. The two major components of the error are the interpolation-error and the short-range error of the scale. The wavelength modulation encoder provides a low interpolation error due to the decoder technology. We obtained within 1nm-pp interpolation error across the wide gap and large angle tolerances. For the second evaluation, we introduced a short-range-error measurement system using two encoder heads. This machine provides high repeatability due to the encoder output stability. The evaluation result of a quartz phase grating scale was within 1nm-pp short-range-error in whole scale length, by using this measurement system.
机译：这项研究揭示了调制激光编码器的短距离精度。误差的两个主要成分是内插误差和刻度的短程误差。由于解码器技术，波长调制编码器提供了低插值误差。我们在宽间隙和大角度公差范围内获得了1nm-pp内插值误差。对于第二次评估，我们引入了使用两个编码器头的短程误差测量系统。由于编码器输出的稳定性，本机具有很高的重复性。使用该测量系统，石英相位光栅尺的评估结果在整个标尺长度内的短程误差在1nm-pp以内。

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