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首页> 外文会议>SPIE Eco-Photonics 2011 : Sustainable Design, Manufacturing, and Engineering Workforce Education for a Green Future >Transparent conductive oxides for nano-SIS solar cells
【24h】

Transparent conductive oxides for nano-SIS solar cells

机译：纳米SIS太阳能电池的透明导电氧化物

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As a reason of their electrical conductivity and transparency in the visible spectral range transparent conductive oxides (TCOs) are well known as electrodes for OLEDs or LCD displays. Another promising application is a semiconductor-insulator-semiconductor (SIS) solar cell, in which the TCO induces the pn junction and realises a low cost solar cell on crystalline silicon. By using nanostructured silicon interfaces broadband antireflection properties with effective light coupling into the silicon can be achieved. Combined with the SIS concept it is possible to fabricate a low cost and high efficient PV device. For the deposition of thin films of indium tin oxide (ITO) and aluminum doped zinc oxide (AZO) pulsed dc magnetron sputtering is used. The paper presents the surface modification of silicon by inductive coupled plasma (ICP) etching technology, discusses the influence of different TCO materials to the device, and analyses the optical and structural properties of the cells. Furthermore, the solar cell performance under AM1.5G illumination will be shown
机译：由于其在可见光谱范围内的导电性和透明性，众所周知，透明导电氧化物（TCO）作为OLED或LCD显示器的电极。另一个有希望的应用是半导体-绝缘体-半导体（SIS）太阳能电池，其中TCO诱导pn结并在晶体硅上实现低成本的太阳能电池。通过使用纳米结构的硅界面，可以实现具有有效的光耦合到硅中的宽带减反射性能。结合SIS概念，可以制造出低成本，高效率的PV设备。为了沉积铟锡氧化物（ITO）和铝掺杂的氧化锌（AZO）的薄膜，使用了脉冲直流磁控溅射。本文介绍了电感耦合等离子体（ICP）蚀刻技术对硅的表面改性，讨论了不同TCO材料对器件的影响，并分析了电池的光学和结构特性。此外，还将展示AM1.5G照明下的太阳能电池性能

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