A computational chemistry database for semiconductor processing

机译：用于半导体加工的计算化学数据库

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For computational modeling of semiconductor reactors and processes to be effective, information is needed on gas phase reaction pathways and rate constants, thermochemical properties, tranport properties, electron-molecule collision cross sections, and gas-surface interaction. This paper summarizes our efforts to develop this database using computational chemistry methods.

机译：为了使半导体反应器和过程的计算模型有效，需要以下信息：气相反应途径和速率常数，热化学性质，运输性质，电子-分子碰撞截面以及气-液相互作用。本文总结了我们使用计算化学方法开发该数据库的努力。

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来源
《Symposium on Fundamental Gas-Phase and Surface Chemistry of Vapor-Phase Materials Synthesis》||p.16-21|共6页
会议地点
作者
Richard Jaffe; M.Meyyappan;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类轻工业、手工业;
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