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Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis
Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis
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1.
Titanium oxide CVD from titanium (IV) nitrate and titanium (IV) isopropoxide: growith kinetics, film morphology and precursor specific effects
机译:
来自钛(IV)硝酸钛和钛(IV)异丙氧化物的钛氧化钛CVD:恶魔动力学,薄膜形态和前体特异性效果
作者:
Charles J.Taylor
;
David Gilmer
;
Wayne L.Gladfelter
;
Stephen Camphen Campbell
;
Jeffrey T.Roberts
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
2.
In-situ studies of tin oxide CVD on glass substrates using raman spectroscopy
机译:
使用拉曼光谱法在氧化锡CVD对玻璃基材的原位研究
作者:
I.P.OHare
;
M.E.Pemble
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
关键词:
tin oxide;
CVD;
Raman;
surface;
Eley-Rideal;
3.
Ygbco film orientation dependence on barium composition
机译:
ygbco胶片取向依赖钡组成
作者:
J.Santiso
;
M.Doundkowsky
;
A.Figueras
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
4.
Atomic-layer adsorption of a on Si(100) by using ultraclean lpcvd
机译:
通过使用Ultraclean LPCVD在Si(100)上的原子层吸附
作者:
Yosuke Shimamune
;
Masao Sakuraba
;
Takashi Matsuura
;
Junichi Murota
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
5.
Far-infrared RAIRS studies of the adsorption of chlorometylsilanes on carbon and tungsten surfaces.
机译:
远红外骑行对碳和钨表面上氯化氯硅烷的吸附研究。
作者:
R.kausar A.Awalludiin
;
L.He
;
M.E.Pemble
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
关键词:
CVD;
RAIRS;
DCMS;
TCMS;
Synchrotron Radiation;
silicon carbide;
6.
A model for simulating the development of morphology during diamon CVD
机译:
模拟DIAMIN CVD中形态学的模型
作者:
Ronald C.Brown
;
Jeffrey T.Roberts
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
7.
Photochemical pattern etching of SiC with NF_3
机译:
使用nf_3的SiC的光化学模式蚀刻
作者:
T.Mori
;
M.Murahara
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
8.
Surface modification of glass by vaporization reactions
机译:
通过汽化反应的玻璃表面改性
作者:
K.E.Spear
;
M.N.Palmisiano
;
C.G.Pantano
;
T.M.Besmann
;
E.C.Beahm
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
9.
DOminant chemical reaction and species for silicon epitaxial growth in a SiHCl_3-H2 system at atmospheric pressure in a horizontal cold-wall reactor
机译:
在水平冷壁反应器中大气压下SiHCL_3-H2系统中硅外延生长的主导化学反应和物种
作者:
H.Habuka
;
S.Akiyama
;
T.Otasuka
;
M.SHimada
;
K.Okuyama
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
10.
Metal dialkyldithiocarbamates as mocvd precursors: thermodynamic properties and crystal lattice energy
机译:
金属Dialkydithiocarbamates作为MoCVD前体:热力学性质和晶格能量
作者:
Svetlana M.Zemskova
;
Pavel A.Stabnikov
;
Sergey V.Susoev
;
Igor K.Igumenov
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
11.
Amorphous hydrogenated SiC films produced by a dual/mixed frequency plasma-enhanced CVD reactor
机译:
通过双/混合频率等离子体增强的CVD反应器生产的无定形氢化SiC膜
作者:
H.M.Liaw
;
P.Williams
;
N.Cave
;
P.Deal
;
N.Saha
;
Rich Gregory
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
12.
Morphological instability of CdTe deposited by organometallic vapor phase epitaxy
机译:
有机金属气相外延沉积的CDTE的形态不稳定性
作者:
K.Yong
;
P.J.Sides
;
A.J.Gellman
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
13.
Interfacial reactions for chemical vapor deposition of Ir and Pt films on silicon dioxide and barium-strontium titanate substrates
机译:
二氧化硅和钛酸钡衬底上的IR和Pt膜的化学气相沉积的界面反应
作者:
Y.-M.Sun
;
J.Lozano
;
J.Endle
;
J.Ekerdt
;
J.M.Wite
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
14.
Tantalum conating of steel, copper, aluminum, and titanium by thermal chemical vapor deposition (CVD)
机译:
通过热化学气相沉积(CVD)钢,铜,铝和钛的钽混凝(CVD)
作者:
S PHI ren Eriksen
;
Erik Christensen
;
Niels J.Bjerrum
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
15.
Electrochemical evaluation of pyrite films prepared by plasma spraying
机译:
等离子体喷涂制备的硫铁矿膜的电化学评价
作者:
Ronald A.Guidotti
;
Frederick W.Reinhardt
;
Hui Ye
;
Chris
;
Strock
;
T.Danny Xiao
;
David E.Reisner
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
16.
Titanium-manin group chemistry
机译:
钛 - 人类组化学
作者:
Mark S.Gordon
;
Brett M.Bode
;
Takako Kudo
;
Gyusung Chung
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
17.
In situ studies of teos/ozone CVD: experimental considerations for probing reactions in commercial CVD equipment
机译:
TEOS /臭氧CVD的原位研究:商业CVD设备中探测反应的实验考虑因素
作者:
Thomas K.Whidden
;
SUn Young Lee
;
Xiaoyi Bao
;
Michel COuturier
;
James Taylor
;
Ping Lu Sebstien Romet
;
Zhao Xiaozhong
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
18.
Etch kinetics of polyphenylene oxide laminates usikng a CF_4/O_2 downstream microwave plasma
机译:
蚀刻聚环氧化物层压板USIKNG A CF_4 / O_2下游微波等离子体
作者:
Kevin C.Hsu
;
Milo D.Koretsky
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
关键词:
microwave plasma;
etching;
mass spectrometry;
polyphenylene oxide, X-ray photoelectron spectroscopy.;
19.
Synthesis and decomposition kinetics of liquid precursors for chemical vapor deposition (CVD) of barium
机译:
钡化学气相沉积(CVD)液体前体的合成与分解动力学
作者:
Roy G.Gordon
;
Sean T.Barry
;
Randy N.R.Broomhall-Dillard
;
Nicholas DiCeglie
;
Xinye Liu
;
Daniel J.Teff
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
20.
Gas phase chemistry in chemical vapro depossition
机译:
使用气体面部化学化学替代
作者:
Robert W.Carr
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
21.
Structure of compound semiconductors surfaces in the movpe enviroonment
机译:
化合物半导体表面在电影环境中的结构
作者:
B.-K.Han
;
L.Li
;
M.J.Begarney
;
D.Law
;
Q.Fu
;
R.F.Hicks
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
22.
Numerical modeling of gas-phase nucleation and particle growth during chmical vapor deposition of silicon
机译:
硅气相核沉积过程中气相成核和颗粒生长的数值模拟
作者:
S.L.Girshick
;
M.T.Swithart
;
S.-M.Suh
;
M.R.Mahajan
;
S.Nijhawan
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
23.
Atomic-scale modeling of plasma-surface intractions in the pecvd of silicon
机译:
硅PECVD中等离子体表面相互作用的原子尺度建模
作者:
Dimitrios Maroudas
;
Shyam Ramalingam
;
Eray.S.Aydil
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
24.
Dynamic optimization of chemically reacting stagnation flows
机译:
化学反应滞销流动的动态优化
作者:
Laxminarayan L.Raja
;
Rober J.kee
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
25.
In situ monitoring of CVD for HTS growth
机译:
在SITU监测CVD的HTS增长
作者:
Guglielmo G.COndorelli
;
Michael L.Hitchman
;
Alexei Y.Kovalgin
;
Sarkis H.Samlian
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
26.
Experimental gas-phase kinetics for parallel-plate pecvd
机译:
平行板PECVD实验气相动力学
作者:
Phillip R.Westmoreland
;
Pierre-andre BUi
;
I.Bradford Graff
;
Dionisios G.Valchos
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
27.
Surface stoichometry, structure, and kinetics of gaas mocvd
机译:
Gaas Mocvd的表面化学计量,结构和动力学
作者:
J.R.Creighton
;
H.K.Moffat
;
K.C.Baucom
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
28.
Detailed analysis of a kinetic mechanism for diamond growith in oy-acetylene combustion CVD
机译:
氧 - 乙炔燃烧CVD金刚石生长动力学机制的详细分析
作者:
M.Okkerse
;
M.H.J.M.de Croon
;
C.R.Kleijn
;
G.B.Marin
;
H.E.A.v.d.Akker
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
29.
TShermodynamic modeling of silicon lpcvd revisited with kinetic data
机译:
具有动力学数据的硅LPCVD的Tshermocynamic建模
作者:
Elisabeth Blandquet
;
Constantin Vahlas
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
30.
A computational chemistry database for semiconductor processing
机译:
用于半导体处理的计算化学数据库
作者:
Richard Jaffe
;
M.Meyyappan
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
31.
Three-dimensional simulation of gas flow in a disk-type silicon epitaxial reactor
机译:
磁盘式硅外延反应器中气流的三维模拟
作者:
Akihiro Miyauchi
;
Yousuke Inoue
;
TSakaya Suzuki
;
Minoru Sakamoto
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
32.
Photo induced hydrophilic treatment of porous flouropholymer film by using H_2O vapor
机译:
通过使用H_2O蒸汽诱导多孔荧光多孔膜的亲水性处理
作者:
S.Ito
;
M.Murahara
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
33.
Atomic-order nitridation of Si by radical-and ion-induced reactions using an ultraclean ECR nitrogen plasma
机译:
使用超薄ECR氮等离子体的自由基和离子诱导的Si的原子序硝化
作者:
Takuya Seino
;
Takashi Matsuura
;
Junichi Murota
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
34.
Sio flame emission spectroscopy from a silane/hydrogen/oxygen/argon diffusion flame
机译:
来自硅烷/氢气/氧气/氩气扩散火焰的SiO火焰发射光谱
作者:
M.S.Wooldridge
;
S.A.Danczyk
;
J.Wu
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
35.
Gas phase and surface reactions in C_2F_4 glow discharge polymerization
机译:
C_2F_4辉光放电聚合中的气相和表面反应
作者:
E.G.Loh
;
Y.Simogaki
;
H.Komiyama
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
36.
Two-dimensional simulation of the growth enhancement in selective area metal-organic vapor phase epitaxy
机译:
选择性区域金属 - 有机气相外延的生长增强二维模拟
作者:
Y.Mishima
;
N.Kaida
;
M.Sugiyama
;
Y.Shimogaki
;
Y.nakano
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
37.
Laser pyrolysis studies of gas-phase CVD reactions
机译:
激光热解的气相CVD反应研究
作者:
Douglas K.Russell
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
38.
Thermodynamics and kinetics of Gas-phase reactions in the TSi-C-Cl-H system
机译:
TSI-C-CL-H系统中气相反应的热力学和动力学
作者:
Francis Tesyssandier
;
Mark D.Allendorf
;
Andrew Ho
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
39.
A kinetic model for the mocvd of Cd-Te
机译:
CD-TE MOCVD动力学模型
作者:
Carlo Cavallotti
;
Cecilia Medeossi
;
Caterina Turconi
;
Maurizio Masi
;
Sergio Carra
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
40.
THin film growth of titanium and titanium nitride via gas-phase reaction of sodium vapor with titanium tetrachloride
机译:
钛膜生长钛和氮化钛的钠蒸气与四氯化钛的气相反应
作者:
Jay H.hendricks
;
Maria Iaquino
;
Michael R.Zachariah
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
41.
Simulation of hot-wire chemical vapor deposition of hydrogenated amorphous silicon
机译:
氢化非晶硅的热线化学气相沉积模拟
作者:
D.G.Goodwin
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
42.
Preliminary results of low-temperature deposition of nanotubes usikng aerosol-assisted chemical vapor deposition
机译:
纳米管低温沉积的初步结果USIKNG气溶胶辅助化学气相沉积
作者:
Dario narducci
;
Luca Toselli
;
Paolo Milani
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
43.
Chemical vapour deposition of pyrolytical carbon and graded C/SiC/Si-films at atomspheric pressure
机译:
热解碳和梯度C / SiC / Si-膜在大气压下的化学气相沉积
作者:
N.Popovska
;
D.Held
;
V.Wunder
;
H.Gerhard
;
G.Emig
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
44.
Atomic-layer nitridation of Si(100) by NH_3 using flash heating
机译:
使用闪蒸加热通过NH_3的Si(100)的原子层氮化
作者:
Takeshi Watanabe
;
Masao Sakuraba
;
Takashi Matsuura
;
Junichi Murota
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
45.
Reaction products of Al-CVD from dimethyl-aluminumhydride observed by infrared spectroscopy
机译:
由红外光谱观察二甲基铝酐的Al-CVD的反应产物
作者:
M.Sugiyama
;
Y.Shimogaki
;
H.Itoh
;
J.Aoyama
;
T.Yoshimi
;
H.Komiyama
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
46.
Study of hafnium carbide growth by CVD from in situ chlorinated ha nium
机译:
CVD从原位氯化HA Ni利研究CVD的碳化铪生长
作者:
V.K.Wunder
;
N.Popovsak
;
G.Emig
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
47.
Single pulse shock tube studies on disilane decomposition
机译:
单脉冲冲击管研究脂质化分解
作者:
Wing Tsang
;
juergen Herzler
;
Jeffrey A.Manion
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
48.
Defintive movpe mechanisms from studies of labelled precursors
机译:
标记前体研究的定义电影机制
作者:
Nigel L.Pickett
;
Douglas F.Foster
;
David J.Cole-Hamilton
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
49.
Chemical kinetics for modeling silicon epitaxy from chlorosilanes
机译:
用于氯硅烷硅外延的化学动力学
作者:
Pauline Ho
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
50.
G2 predictions of group III thermochemistry: compounds containing aluminum
机译:
III族热化学的G2预测:含铝化合物
作者:
Kark D.Allendorf
;
Carl F.melius
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
51.
TShermal decomposition mechanism o f Ti(O-iPr)_2 (DPM)_2
机译:
F TI(IPR)_2(DPM)_2的Tsheress分解机制
作者:
Hyun-Kyu Ryu
;
Jung Shik Heo
;
Sung-Il Cho
;
Sang Heup Moon
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
52.
Preparation of Y_2O-3 stabilized ZrO_3 (YSZ)_ thin films by a microwave plasma mocvd
机译:
用微波等离子体MOCVD制备Y_2O-3稳定的ZrO_3(YSZ)_薄膜
作者:
K.Itoh
;
K.Mitani
;
O.Matsumoto
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
53.
Investigation of nickelocene decomposition during CVD of nickel
机译:
镍CVD期间镍茂分解的研究
作者:
Riadh Sahnoun
;
Laurent Brissonneau
;
Catalin Rotaru
;
Claude Mijoule
;
Constantin Vahlas
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
54.
Kinetics of gas-phase reactions in the SI-H system
机译:
Si-H系统中的气相反应动力学
作者:
Sylvie Rouquet
;
Alain Dollet
;
Francis Teyssandier
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
55.
A density functional theory study of chemical vapor depsotion of copper from (hfac) CuL compounds
机译:
铜化学气相沉积(HFAC)CUL化合物的密度泛函理论研究
作者:
Carlo Cavallotti
;
Klavs F.Jensen
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
56.
Macroscopic modeling for vapro deposition processes: from purely thermodynamic to coupled heat/mass transfer-thermodynamic models
机译:
VAPRO沉积工艺的宏观造型:从纯粹的热力学到耦合热/质量转移 - 热力学模型
作者:
E.Blanquet
;
M.Pons
;
C.Bernard
;
R.Madar
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
57.
Formation of transparent SiO_2 thin film at room temperature with 172nm Xe_2~ centre dot excimer lamp irradiation
机译:
在室温下形成透明SiO_2薄膜,172NM XE_2〜中心点准分灯照射
作者:
H.Iizuka
;
M.Murahara
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
58.
The pyrolitic behavior of trimentylindium flow-tube reactors
机译:
三甲基氨基流量 - 管反应器的热解作用
作者:
Anthony H.McDaniel
;
Mark D.Allendorf
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
59.
Thermodynamic assessment of C_(70) and investigation of the fabrication process of fullerenes
机译:
C_(70)的热力学评估及富勒烯制造过程的研究
作者:
Constantin Vahlas
;
Alina Kacheva
;
Michael L.Hitchman
;
Philippe Rocabois
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
60.
Reaction patheays in organometallic chemical vapor depositioon of AlGaN
机译:
AlGaN有机金属化学气相沉积的反应途径
作者:
Vijay Gupta
;
Istvan Lengyel
;
Theodoros G.Mihopoulos
;
Klavs F.jensen
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
61.
Chemical vapor deposition of silica films from silanepoxygen mixtures in a cold-wall reactor
机译:
从冷壁反应器中硅氧烷混合物的二氧化硅膜的化学气相沉积
作者:
F.Ojeda
;
J.M.Albella
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
62.
Fluorination of polyimide sheet surface by using Xe_2~ centre dot excimer lamp and CF_4
机译:
通过使用XE_2〜中心点准分灯和CF_4氟化聚酰亚胺板表面
作者:
T.Ikegame
;
M.Murahara
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
63.
A numerical analysis of mass transport in the stagnation flow geometry
机译:
停滞流动几何质量运输的数值分析
作者:
Jie zhou
;
Colin a.Wolden
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
64.
SThe influence of substrate properties upon the epitaxial layer
机译:
基材特性对外延层的影响
作者:
M.Imai
;
M.Maysumi
;
K.Inoue
;
S.Nakahara
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
|
1999年
65.
Deposition scheme of GaN thin films by microwave plasma mocvd
机译:
微波等离子体MOCVD沉积GaN薄膜的沉积方案
作者:
N.Ihashi
;
K.Itoh
;
O.Matsumoto
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
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1999年
66.
Photochemical formation of Cu thin films on polyimide surface using ArF excimer Laser
机译:
使用ARF准分子激光器聚酰亚胺表面Cu薄膜的光化学形成
作者:
M.Tomita
;
M.Murahara
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
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1999年
67.
An investigation of boron precursor influence on silicon oxide deposition kinetics using silane-oxygen and teos-oxygen mixtures at low pressure
机译:
低压下硅烷氧和Teos-氧混合物对氧化硅沉积动力学对氧化硅沉积动力学的研究
作者:
V.Y.Vassiliev
;
T.G.Duhanova
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
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1999年
68.
In situ study of laser-assisted gas-phase reactivity in constrained gas pulse expansions of TMGa and TEGa with HN_3
机译:
原位研究激光辅助气相反应性在TMGA和TEGA的约束气体脉冲扩展与HN_3
作者:
Alexander Demchuk
;
John Porter
;
Brent Koplitz
;
Electrochemical Society Inc.
会议名称:
《Symposium on fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase materials synthesis》
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1999年
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