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首页> 外文会议>Symposium on Organic and Polymeric Materials and Devices―Optical, Electrical and Optoelectronic Properties Apr 1-5, 2002 San Francisco, California, U.S.A. >Hardness depth profiling of ion-implanted polymer thin films
【24h】

Hardness depth profiling of ion-implanted polymer thin films

机译：离子注入聚合物薄膜的硬度深度分布

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Hardness measurements in ion implanted polymers are complicated by the fact that the hardness of the material varies as a function of depth within the modified layer. This effect is induced by the distribution of deposited energy, which produces a depth-dependent variation in microstructure. We have used the depth-sensing nano-indentation technique to investigate the mechanical properties of thin films of ion-beam modified aromatic polymers deposited onto silicon substrates. The depth of the ion-modified surface layer was determined using the load variation technique from the hardness and elastic module depth profile and the depth dependence of the power law coefficient of the unloading curve.
机译：由于材料的硬度随改性层内的深度而变化，因此离子注入聚合物的硬度测量变得很复杂。这种影响是由沉积能量的分布引起的，沉积能量的分布在微观结构中产生了深度相关的变化。我们已经使用深度感应纳米压痕技术研究了沉积在硅基板上的离子束改性芳香族聚合物薄膜的机械性能。离子改性表面层的深度是使用载荷变化技术根据硬度和弹性模量深度分布以及卸载曲线的幂律系数的深度依赖性确定的。

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