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A RADIATION TOLERANT 0.6 μm CMOS TECHNOLOGY

机译:耐辐射0.6μmCMOS技术

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摘要

Modifications of the standard fabrication techniques of the 0.6 μm CMOS technology lead to a radiation tolerant process in terms of immunity to total dose effects (up to 500 Gy) and to latchup under heavy ions (LET up to 100 MeV/(mg/cm~2). In this paper, the process development and the evolution of device parameters as a function of total dose are presented.
机译:对0.6μmCMOS技术的标准制造技术的修改导致了对总剂量效应(高达500 Gy)的免疫力和在重离子下的闩锁(LET高达100 MeV /(mg / cm〜 2)。本文介绍了工艺发展和设备参数随总剂量的变化。

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