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首页> 外文会议>The Twenty-third annual meeting of the American Society of Precision Engineering and the Twelfth ICPE >PRECISION-LIMIT POSITIONING OF AN ULTRA PRECISION TABLE USING HSMC
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PRECISION-LIMIT POSITIONING OF AN ULTRA PRECISION TABLE USING HSMC

机译：使用HSMC的超精密工作台的精度极限定位

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This paper discusses the application of the higher order sliding mode control (HSMC) to a direct drive system to achieve the so called precision-limit positioning (PLP). By PLP it means that the positioning precision is equal to the limit that is allowed by the system hardware. In this study, a newly developed friction model is used to design the integral gain embedded in the control. Experiment shows that the HSMC system, with a little modification, can really achieve the performance of PLP with expected good robustness as different loads are added. However, the final stage tuning and some other defects still need to be improved.
机译：本文讨论了高阶滑模控制（HSMC）在直接驱动系统上的应用，以实现所谓的精度极限定位（PLP）。 PLP表示定位精度等于系统硬件允许的极限。在这项研究中，使用新开发的摩擦模型来设计嵌入到控件中的积分增益。实验表明，通过对HSMC系统进行一些修改，可以在增加不同负载的情况下，以预期的良好鲁棒性真正实现PLP的性能。但是，最后阶段的调整和其他一些缺陷仍需要改进。

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