第1章 绪 论
1.1课题背景及研究的目的和意义
1.2气动微流控芯片研究现状
1.3微阀发展现状
1.4气动微混合器研究现状
1.5本文研究内容
第2章 电磁微阀数学模型及仿真研究
2.1引言
2.2 PDMS气压驱动微阀主要性能指标
2.3 PDMS气压驱动微阀结构及工作原理
2.4电磁微阀结构及工作原理
2.5电磁微阀流量特性仿真研究
2.6电磁微阀动态数学模型
2.7本章小结
第3章 气动微驱动器及膜阀数学模型和动态特性研究
3.1引言
3.2膜阀应用场合及响应时间要求
3.3膜阀结构与工作原理
3.4气动微驱动器数学模型
3.5气动微驱动器响应特性仿真结果分析
3.6膜阀特性仿真分析
3.7本章小结
第4章 PDMS气压驱动微阀封装及试验研究
4.1引言
4.2微结构模具加工方法
4.3阀体封装工艺
4.4电磁微阀静态特性试验研究
4.5电磁微阀动态特性试验研究
4.6气动微驱动器驱动性能试验研究
4.7膜阀流量阀控特性试验研究
4.8本章小结
第5章 气动微驱动器及气动微流控芯片控制方法研究
5.1引言
5.2控制系统性能指标
5.3控制系统硬件组成
5.4驱动腔压力Bang-Bang控制方法研究
5.5驱动腔压力PWM控制方法研究
5.6驱动腔压力复合控制方法研究
5.7本章小结
第6章 气动微混合芯片的混合特性研究
6.1引言
6.2集成PDMS气压驱动微阀的气动微混合芯片结构
6.3气动微混合芯片弧形流道的制备工艺研究
6.4气动微混合器数字图像混合效率算法
6.5基于气动微阀的微混合器混合特性试验研究
6.6本章小结
结论
本文取得的结论如下：
本文主要取得了以下创新性研究成果：
今后研究展望：
参考文献
附 录 1 PDMS驱动薄膜大变形最大挠度数学模型推导
攻读博士期间发表的论文及其它成果
声明
致谢
个人简历
