日盲紫外带通滤光片膜系设计与镀膜工艺研究

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目录

第1章 绪 论

1.1 课题背景及意义

1.2 介质薄膜光学特性的理论计算与设计方法

1.3 紫外带通滤光片

1.4 紫外光学薄膜沉积技术

1.5 光学薄膜的特性

1.6 本文主要研究内容

第2章 日盲紫外滤光膜设计、制备及性能表征方法

2.1 OptiLayer膜系设计软件

2.2 ORTUS-700型电子束真空镀膜设备

2.3 薄膜样品的制备工艺流程

2.4 薄膜性能表征方法

第3章 日盲紫外带通滤光片膜系设计

3.1 设计技术指标

3.2 基材和膜材的选取

3.3 初始膜系的确定

3.4 膜系结构的优化

3.5 本章小结

第4章 沉积温度对HfO2薄膜性能的影响

4.1 HfO2薄膜镀制工艺

4.2 光学性能

4.3 相结构、晶粒尺寸及晶格畸变

4.4 表面形貌

4.5 薄膜成分

4.6 本章小结

第5章 沉积温度对MgF2薄膜性能的影响

5.1 MgF2薄膜镀制工艺

5.2 光学性能

5.3 相结构、晶粒尺寸及晶格畸变

5.4 表面形貌

5.5 薄膜成分

5.6 本章小结

第6章 日盲紫外带通滤光片的镀制与性能表征

6.1 日盲紫外带通滤光片镀制工艺

6.2 日盲紫外带通滤光片镀制流程

6.3 紫外滤光片样品性能检测

6.4 误差分析

6.5 本章小结

结论

参考文献

声明

致谢