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第一章 绪 论
1.1 引言
1.2 光学多层膜解析设计的概述
1.3 光学薄膜制备技术的概述
1.4 主要内容及意义
第二章“逐层法”设计真空紫外高反膜
2.1 引言
2.2 真空紫外高反射膜的发展概况
2.3 几种新的高反膜设计方法简介
2.3.1 Needle设计法
2.3.2 LSM/OPM设计法
2.3.3 SBBRM设计法
2.3.4 WRL设计法
2.4“逐层法”简介
2.4.1“逐层”设计法理论概述
2.4.2“逐层”设计法选材依据
2.5 真空紫外高反膜系“逐层法”设计过程
2.5.1 基于MATLAB的膜系设计程序简介
2.5.2 选取Rh-Si为膜系组合的依据
2.5.3 Rh-Si真空紫外高反膜设计结果
2.5.4 膜厚误差对反射率结果的影响
2.5.5 C、SiC、W-Si等组合的反射率与Rh-Si组合对比
2.6 本章小结
第三章 可见光波段带通滤光膜系设计
3.1 引言
3.1.1 滤光片的种类及特点
3.1.2 可见光波段滤光片的用途
3.1.3 可见光波段滤光片的前景
3.2 几种带通滤光片设计方法
3.2.1 Fabry-Perot滤光片
3.2.2 全介质滤光片
3.2.3 诱导透射滤光片
3.3 可见光带通滤光片的设计过程
3.3.1 膜系设计参数和指标
3.3.2 膜系设计软件介绍
3.3.3 膜系选材标准
3.3.4 多半波型滤光片主膜系的确定
3.3.5 多半波型滤光片匹配膜系的确定
3.3.6 最终膜系的确定
3.4 本章小结
第四章 总结与展望
4.1 本文总结
4.1.1“逐层法”设计真空紫外高反膜
4.1.2 可见光带通滤光膜系设计
4.2 课题相关问题的展望
附 录
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文
