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Design and deposition of vacuum-ultraviolet narrow-bandpass filters for analytical chemistry applications

机译：用于分析化学应用的真空紫外窄带通滤光片的设计和沉积

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Vacuum-ultraviolet (VUV) narrow-bandpass filters with central wavelengths at 177.5, 180.7, and 193 nm are necessary for analytical chemistry applications and for atomic emission spectrum separation. The emission spectra are so close that the required passbands of these filters are 1 to 2 nm with a maximum of 2 nm. We first investigated the designs based on the Fabry-Perot model with fluoride materials and second the deposition of narrow-bandpass filter components by using evaporation deposition. VUV spectral characterizations show that the filter components meet the requirements for analytical chemistry applications.
机译：中心波长为177.5、180.7和193 nm的真空紫外（VUV）窄带滤光片对于分析化学应用和原子发射光谱分离是必不可少的。发射光谱非常接近，以至于这些滤光片所需的通带为1至2 nm，最大为2 nm。我们首先研究了基于Fabry-Perot模型和氟化物材料的设计，其次通过蒸发沉积来沉积窄带通滤光片组件。 VUV光谱表征表明，过滤器组件符合分析化学应用的要求。

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