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目录
第1章 绪 论
1.1 课题背景及意义
1.2 膜系设计基本理论
1.3 带通滤光片
1.4 光学薄膜淀积技术
1.5 光学薄膜性能
1.6 光学薄膜带电粒子辐照效应
1.7 本文主要研究内容
第2章 试验方案及表征手段
2.1 电子束真空镀膜设备
2.2 薄膜制备
2.3 辐照设备
2.4 光学薄膜性能表征
第3章 膜系设计与优化
3.1 膜系设计软件
3.2 膜系设计
3.3 膜系结构优化
3.4 本章小结
第4章 镀膜工艺研究
4.1 沉积温度对单层膜MgF2的影响
4.2 沉积温度对单层膜ZnS的影响
4.3 本章小结
第5章 带通滤光片抗辐照性能表征
5.1 带通滤光片的镀制
5.2. 抗辐照性能评价
5.3 本章小结
结论
参考文献
声明
致谢
